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    上海精测半导体 12寸独立式OCD机台与全自动Review SEM设备出机

    发布时间:2021-08-09    388 阅读量

    2021年7月13日,在上海精测半导体技术有限公司成立三周年之际,经过全体精测人的努力拼搏,迎 来了属于自己的荣耀时刻:国内首台12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与国内唯一12寸全自动 电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)顺利出机。

    国内首台12寸独立式光学线宽测量机台

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    12 寸独立式光学线宽测量机台 (OCD) 是该类型的国内首台机台,主要用于 45nm 以下、特别是 28nm 平面CMOS 工艺的量测,并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD 测量系统拥有完全自主知识产权,包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发,是真正意义上的高端国产化机台。

    配套 EPROFILE 300FD,上海精测还同时发布了新一代电磁场仿真建模工具 J_ProfilerTM V3.0 ;该款软件允许用户在数百核的高速建模运算服务器上进行 OCD 建模与库匹配,可以在获取复杂三维纳米结构光谱变化信息后,实时高速的对于纳米结构的各个维度精确值进行计算。

    EPROFILE 300FD 和 J_ProfilerTM V3.0 将为国内高节点产线提供稳定、实时、高速的量测解决方案。

    12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备

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    12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(ReviewSEM)是上海精测半导体的另一项主力产品。公司从底层开发做起,扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等关键核心部件均为自主设计,自主知识产权,并用了近两年的时间打通了电子显微镜核心零部件加工的国产化供应链。此次出厂的机台配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法,将进一步帮助客户提升缺陷复查分析的效率并显著提升设备使用的便捷性。

    上海精测半导体技术有限公司通过自主构建研发团队及海外并购引入国产化等手段,实现半导体测试、制程设备的技术突破及产业化,成为全球领先的半导体测试设备供应商及服务商。通过与多家知名研发中心、大学院??购献?,共同开发新型检测解决方案,提升国内半导体检测装备行业的技术水平。

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